2024年,中國芯片出口達到了1.03萬億元,這也是我國首次突破萬億元的大關。
由此也能看出,在這場持續多年的“中美半導體之爭”中,我國已經率先取得了階段性的勝利,但身為半導體“心臟”的光刻膠,卻長期被日本給壟斷了!
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據統計,日本企業佔據了全球光刻膠市場約90%的份額,尤其是在ArF和EUV高端光刻膠領域,日本企業的市場佔有率甚至超過了90%,處於絕對的壟斷地位。
都說“人無遠慮,必有近憂”,那麼如果日本真的斷供光刻膠了,我國的半導體產業會崩潰嗎?
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被日本“鎖喉”的命門
在半導體產業中,芯片是核心部件,而光刻膠則是製造芯片過程中不可或缺的關鍵材料,可以說一個國家如果沒有光刻膠,就不可能製造出芯片!
而在目前行業中,這“續命膠”90%的全球供應幾乎被日本攥在手裡。
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準確來說,日本JSR、東京應化、信越化學、富士膠片這四家巨頭,就霸占了全球近80%的光刻膠市場份額。
尤其是造高端芯片用的EUV光刻膠,日本企業更是掌控了超過90%的產能,10nm以下製程的光刻膠幾乎只有日本能生產。
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2024年我們單從日本進口光刻膠就花了13.6億美元,佔了感光化學品進口總額的54.5%,整體進口依賴度更是高達80%-90%。
其中最關鍵的高端產品,造14nm及以下芯片要用的ArF光刻膠,還有EUV光刻機專用的EUV光刻膠,咱們的國產化率連5%都不到。
這種依賴也讓日本有了絕對的話語權。
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2019年7月,日本就把韓國移出貿易“白色清單”,對光刻膠、氟化氫等三種關鍵半導體材料實施出口管制。
當時韓國80%的光刻膠都靠從日本進口,三星、SK海力士這些半導體巨頭一下子就慌了神。
要知道光刻膠保質期只有6個月,還特容易污染,根本存不了多少貨。
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斷供後沒多久,三星的3nm工藝良率直接跌到10%-20%,就是因為找不到合格的光刻膠,材料純度不夠導致芯片大量報廢。
雖然沒直接說損失多少錢,但光台積電之前因為光刻膠污染,就報廢了上萬片12英寸晶圓,直接損失5.5億美元。
這場斷供足足持續了三年,直到2023年日本才解除限制,韓國也是靠全力自研才勉強突圍。
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這件事也給我國提了個醒,要想擺脫依賴,唯有自我研發,可是這麼重要的東西,為啥沒有一家工業強國造呢?
其實不是不想,是造不出來,日本的壁壘實在太高了:
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日本為啥能壟斷?
光刻膠這東西,講究“純”和“穩”到極致。
裡面的金屬雜質得控制在十億分之一以內,比純淨水乾淨幾萬倍,生產車間每立方米只能有幾十粒灰塵,比手術室還嚴格。
就這標準,很多國家的工廠連基礎條件都達不到。
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而且研發週期長得嚇人,從實驗室到量產至少要十幾年,還得持續砸錢。
日本企業從上世紀70年代就開始鑽研,80年代跟著半導體產業起飛,90年代又搶先搞ArF類型,2000年後再攻EUV。
可以說在全球光刻膠專利中,有46%由日本企業掌握,在高端光刻膠領域,這一比例更是高達70%以上。
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而且日本不是單靠一家企業強,他們跟全球最牛的光刻機公司ASML一起搞研發。
新研發的光刻膠需要經過2-3年的嚴格驗證週期,才能被芯片製造企業所採用。
這一過程不僅需要投入大量的時間和資金,還需要與芯片廠進行密切的合作和溝通。
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在研發過程中,一些企業也會為了確保產品質量,往往不敢輕易更換光刻膠供應商,因為一旦更換,可能會面臨工藝調整、良率下降等諸多風險。
這就讓日本企業在光刻膠市場裡,既有了“老客戶離不開”的優勢,又豎起了“新對手進不來”的門檻。
面對日本在光刻膠領域的技術封鎖和市場壟斷,中國企業並未坐以待斃。
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中國逐漸破局
2024年太紫微光電科技有限公司在武漢成立,該公司由英國皇家化學會會員朱明強教授領銜。
核心成員深耕有機及納米光電子學領域二十餘載,在光引髮劑合成、樹脂改性等關鍵技術上積澱深厚。
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研發之初,材料體系的平衡難題便接踵而至,光刻膠作為多組分複合物,樹脂的成膜性、光引髮劑的光敏性與抑製劑的反應控制存在天然矛盾。
團隊在合成核心光敏劑時,曾因金屬雜質超標導致批次穩定性波動超5%,反复優化催化體係後才將雜質控制在0.01ppb以下。
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樹脂改性階段更難,增加納米粒子含量可以提升抗刻蝕性,卻導致193nm處透光率跌破90%,降低含量又無法滿足刻蝕選擇比要求。
朱明強教授帶領團隊創新採用中空SiO₂納米球與星型分散劑組合方案,歷經百次試驗才將透光率提升至95%以上,同時將沉降率控制在2%以內。
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經過團隊日夜研究,T150A光刻膠誕生。
这款新型光刻胶的极限分辨率高达120纳米,且稳定性显著提高。这意味着我国在光刻胶领域的技术水平有了质的飞跃。
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現在國內其他企業,比如晶瑞股份、飛凱材料這些公司,2024年產量翻了一倍,PCB光刻膠基本能自給。
政府也在砸錢支持,集成電路基金三期已經啟動,專門補貼EUV光刻膠研發。
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作為太紫薇公司的負責人,朱明強教授還特意強調T150A光刻膠只是國產光刻膠的一個開始,算不上終點。
未來他和他的團隊,還會接著研發更多適合不同場景的高端光刻膠,爭取在國產光刻膠這條路上走得更遠、更穩。
信源:
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