證券之星消息，根據天眼查APP數據顯示中微公司（688012）新獲得一項實用新型專利授權，專利名為“下電極組件及等離子體處理設備”，專利申請號為CN202520539349.6，授權日為2026年4月14日。
專利摘要：本實用新型提供一種下電極組件及等離子體處理設備。所述下電極組件包括：基座，其用於承載晶圓；聚焦環組件，設置於所述基座的邊緣區域，所述聚焦環組件包括聚焦環和位於所述聚焦環下方的邊緣電極；所述基座和所述邊緣電極電連接射頻電源；所述邊緣電極靠近所述聚焦環的徑向內側設置，且所述邊緣電極的軸向投影面積與所述聚焦環的軸向投影面積之比為10％～70％。本實用新型用於延長聚焦環的使用壽命。
今年以來中微公司新獲得專利授權43個，較去年同期減少了14%。結合公司2025年年報財務數據，2025年公司在研發方面投入了24.75億元，同比增74.61%。
通過天眼查大數據分析，中微半導體設備（上海）股份有限公司共對外投資了29家企業，參與招投標項目76次；財產線索方面有商標信息109條，專利信息1661條，著作權信息13條；此外企業還擁有行政許可77個。
數據來源：天眼查APP
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